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  质量流量控制器(MFC)  
     
  型号 8713 - 气体质量流量控制器(MFC)  
 
     
 
  描述  
  8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现极高速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件,确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具备卓越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准,用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信完全采用数字形式,这样一来,就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用,例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。  
     
  特性  
  « 标称流量范围:0.010 lN/min 至 80 lN/min  
  « 测量精度和重复性高  
  « 调控速度特别快  
  « 通过 RS485 进行数字通信  
  « 紧凑型版本  
     
 
 
 
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